機器人本體基座部配備了作為表2-15的機內吸引用真空裝置（用戶自備）連接口的φ8接頭“VACUUM”（參照圖2-71、圖2-72）。應將其與機內吸引用真空連接后使用。關于機內吸引用真空裝置，應準備下述[1]、[2]中所示的規格以上的產品。 [1]通過使用真空發生器，提供機內吸引用真空的情況下應以RH-3FRH/6FRH系列：30～50L/min、RH-12FRH/20FRH系列：60～140L/min、RH-3FRHR系 列：3～5L/min的真空流量進行吸引。RH-12FRH/20FRH系列有2處VACUUM接頭。務必使用兩個接頭進行吸引。 此外，應確保來自真空泵的排氣路徑，以避免對真空泵用的電源及潔凈度造成影響。 3)在機器人本體基座部后部安裝有通氣管。（參照圖2-16）。在通氣管的開口部，隨Z軸的上下動作，風箱管的體積會發生變化，由此，機器人本體內發生空氣的吸排氣動作。請將通氣管開口部設定在不影響機器人潔凈度的位置。此外，在實施機內吸引時，通氣管的開口部多少會有微量的氣流從外部流入機內
