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機(jī)器人本體基座部配備了作為表2-15的機(jī)內(nèi)吸引用真空裝置（用戶自備）連接口的φ8接頭“VACUUM”（參照?qǐng)D2-71、圖2-72）。應(yīng)將其與機(jī)內(nèi)吸引用真空連接后使用。關(guān)于機(jī)內(nèi)吸引用真空裝置，應(yīng)準(zhǔn)備下述[1]、[2]中所示的規(guī)格以上的產(chǎn)品。 [1]通過使用真空發(fā)生器，提供機(jī)內(nèi)吸引用真空的情況下應(yīng)以RH-3FRH/6FRH系列：30～50L/min、RH-12FRH/20FRH系列：60～140L/min、RH-3FRHR系 列：3～5L/min的真空流量進(jìn)行吸引。RH-12FRH/20FRH系列有2處VACUUM接頭。務(wù)必使用兩個(gè)接頭進(jìn)行吸引。 此外，應(yīng)確保來自真空泵的排氣路徑，以避免對(duì)真空泵用的電源及潔凈度造成影響。 3)在機(jī)器人本體基座部后部安裝有通氣管。（參照?qǐng)D2-16）。在通氣管的開口部，隨Z軸的上下動(dòng)作，風(fēng)箱管的體積會(huì)發(fā)生變化，由此，機(jī)器人本體內(nèi)發(fā)生空氣的吸排氣動(dòng)作。請(qǐng)將通氣管開口部設(shè)定在不影響機(jī)器人潔凈度的位置。此外，在實(shí)施機(jī)內(nèi)吸引時(shí)，通氣管的開口部多少會(huì)有微量的氣流從外部流入機(jī)內(nèi)