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按性能特點(diǎn)和用途分類(lèi)

(1)低真空泵  泵的極限壓力高于102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見(jiàn)的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。

(2)中真空泵極限壓力在102～10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見(jiàn)的有羅茨真空泵、多級(jí)噴射式真空泵、多級(jí)旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。  

(3)高真空泵極限壓力在10-1～10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見(jiàn)的高真空泵有各種擴(kuò)散水泵及分子泵等。

(4)超高真空泵極限壓力低于10-5Pa的真空泵屬于超高真空泵。超高真空泵主要有各種離子泵、低溫泵等。

  按工作原理和結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分類(lèi)

(1)機(jī)械式容積真空泵靠機(jī)械運(yùn)動(dòng)使泵腔工作容積周期變化來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣作用的是機(jī)械式容積真空泵。屬于這類(lèi)泵的有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵(包括旋片式、螺桿式、羅茨式、液環(huán)式等)。這類(lèi)泵中除機(jī)械增壓泵外，一般均可單獨(dú)使用。  

(2)射流式真空泵沒(méi)有機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，主要靠通過(guò)噴嘴的高速射流來(lái)抽真空的是射流式真空泵。屬于這類(lèi)泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴(kuò)散泵等。這類(lèi)泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，工作可靠，壽命長(zhǎng)，易于維修，應(yīng)用比較普遍。

 各類(lèi)真空泵的工作壓力范圍及特征