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產(chǎn)品分類

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  • 系列名稱:ZS-HL 2D CMOS激光型
    系列描述:

    超高性能傳感器支持大范圍準(zhǔn)確測(cè)量的核心質(zhì)量

    測(cè)量中心距離為20 ~ 1,500 mm的各種型號(hào)。
    最大分辨率達(dá)0.25 μm。
    最大響應(yīng)速度達(dá)110 μs。
    支持并行輸出。

    ZS-HL 特點(diǎn) 3 ZS-HL_Features1
    ZS-HL 特點(diǎn) 4 ZS-HL_Features2
    ZS-HL 特點(diǎn) 5 ZS-HL_Features3

    超穩(wěn)定性

    最佳尺寸/穩(wěn)定性
    傳感器尺寸

    重視性能的理想傳感器頭尺寸和3點(diǎn)式固定構(gòu)造確保出眾的傳感穩(wěn)定性。(參見注釋)

    ZS-HL 特點(diǎn) 9 ZS-HL_Features4

    注:ZS-HLDS2T 不可用。

    卓越的移動(dòng)分辨率
    透視分辨率提升

    通過提高受光透鏡的靈敏度和分辨率,使光學(xué)系統(tǒng)較優(yōu)化,從而大幅度降低移動(dòng)分辨率誤差(因工件表面位置引起的誤差)。

    ZS-HL 特點(diǎn) 13 ZS-HL_Features5

    材質(zhì)間誤差降低
    2維CMOS

    CCD在受光量過多時(shí)電荷會(huì)溢出至相鄰的像素。CMOS避免了這種現(xiàn)象,不會(huì)受不同材質(zhì)或受光過多導(dǎo)致的光量變動(dòng)影響。

    ZS-HL 特點(diǎn) 16 ZS-HL_Features6
    ZS-HL 特點(diǎn) 17

    降低決定測(cè)量精度的不同物體之間的差異。
    因此,可以更方便地應(yīng)用于檢測(cè)對(duì)象物。

    ZS-HL 特點(diǎn) 19 ZS-HL_Features7
    ZS-HL 特點(diǎn) 21 ZS-HL_Features8
    ZS-HL 特點(diǎn) 22 ZS-HL_Features9
    ZS-HL 特點(diǎn) 23

    1,500mm長(zhǎng)距離檢測(cè),可以測(cè)量以往無法測(cè)量的點(diǎn)。

    ZS-HL 特點(diǎn) 25 ZS-HL_Features10
    ZS-HL 特點(diǎn) 27 ZS-HL_Features11

    注:此功能可能在明亮環(huán)境中無效。

    ZS-HL 特點(diǎn) 29

    可穩(wěn)定測(cè)量?jī)A斜工件和移動(dòng)工件。

    ZS-HL 特點(diǎn) 31 ZS-HL_Features12
    ZS-HL 特點(diǎn) 32 ZS-HL_Features13

    專門為ZS-HLDS2VT開發(fā)的非球面透鏡,采用的光學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)適用于正反射工件。顯著擴(kuò)大了允許傾斜的角度,并提高了測(cè)量透明工件和正反射工件的穩(wěn)定性。

    ZS-HL 特點(diǎn) 34 ZS-HL_Features14
    ZS-HL 特點(diǎn) 35

    在半導(dǎo)體晶圓片、玻璃等要求精度高的測(cè)量上具有較佳優(yōu)勢(shì)。

    ZS-HL 特點(diǎn) 37 ZS-HL_Features15

    令人難以置信的測(cè)量精度0.25μm,同級(jí)產(chǎn)品的較高水平。

    ZS-HL 特點(diǎn) 40 ZS-HL_Features17

    密封調(diào)和器的高度控制

    ZS-HL 特點(diǎn) 42 ZS-HL_Features18

    HDD用電機(jī)旋轉(zhuǎn)座的光盤播放檢查

    ZS-HL 特點(diǎn) 44 ZS-HL_Features19

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